 WDX
Thermo – WDX MagnaRay Spectrometer
MagnaRay WDX
- 업계최초의 PBS (Parallel Beam Spectrometer) 이용한 sample 근접분석 (높은 solid angle제공)
- Hybrid Optic을 이용한 Full Range elements 파장 검출 (Low & High energy) (Thermo특허)
- EDX 만큼 쉬운 WDX의 사용
- 뛰어난 저 에너지(low energy) 검출 감도
- SEM의 Low beam current에서도 사용가능
- 신뢰할 수 있는 정량 결과(e.g. AN51850)
- EDX 포트가 있는 모든 SEM에 설치가능.
- 밀봉된 Xenon 가스를 Counter 사용
- WDX, EDX 소프트웨어의 완벽한 통합
- WDS를 이용한 EDX 피크의 재 확인
- 4가지 diffractor로 full range 파장분석
- Diffractor 선택의 자동화
- 지정된 에너지 영역의 자동 스캔
- Alignment의 완전자동화 구축
MagnaRay X-ray Optic
- X-ray optics은 X-ray들을 집중시켜 Diffractor로 보낸다.
- Hybrid optic: poly-capillary optics (PCO)와 glancing incidence x-ray optic (GIXO)의 결합
- 넓은 에너지 작동 범위
- Low-energy X-ray들에 대한 매우 높은 효율
- High-energy X-ray들에 대한 좋은 효율
- 낮은 빔 전류(~nA)에서도 쉬운 운용
- 특별한 collimator 없이 EDX와 WDX 동시 분석
- 낮은 가속전압, 매우 작은 spot size에서의 분석
- 빔 전류에 민감한 시료 분석
- Cold-FEG SEM을 포함한 어떠한 SEM과도 함께 사용 가능
Solid Angle 비교
MagnaRay – Low Energy Sensitivity
- MagnaRay는 peak중첩(overlap) 현상이 일어나는 Low energy영역에서 high sensitivities의 성능을 제공합니다
MagnaRay – Low Energy 분석
- WDS 대부분 peak의 중첩이 일어나는 낮은 에너지에서 사용 된다.
- Fe-Cr-B alloy에서 Boron의 WDS mapping(5kV and 3nA)
- Blue phase 0.5wt% B
- Yellow phase 0.9wt% B
- Red phase 1.4wt% B
- Heavy matrix에서 경원소의 낮은 함량 분석
- Low energy의 정량 분석
MagnaRay software: 중첩된 원소의 Peak 확인
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